Avtomatski končni polirni stroj za 300 mm rezine z najvišjo natančnostjo robnega profila in enakomernostjo odvzema
Končni polirni stroj s posebej zasnovano polirno glavo in transportnim mehanizmom, ki omogoča stabilno obdelavo rezin z visoko natančnostjo in zmogljivostjo.
| Najv. velikost rezine | Ø300 mm |
| Št. sočasno obdelanih rezin | 10 |
| Polirne plošče / stopnje | 3 plošče, 6 rezin poliranih hkrati |
| Način transporta | Indeksirni transport, 4 rezine premaknjene hkrati |
| Uporaba | Končno poliranje silicijevih rezin |
Ključne lastnosti
- Najbolje prodajani končni polirni stroj za 300 mm rezine
- Doseže ultra zrcalno, ultra visoko sijočo površino na atomski ravni
- S tremi polirnimi ploščami hkrati polira šest rezin od vmesne do končne stopnje, indeksirni transportni sistem pa premika štiri rezine sočasno
Sorodni modeli
Uporabniku prijazna CMP oprema, zasnovana z mislijo na enostavno uporabo in okoljsko odgovornost.
Serija Okamoto GNX je zasnovana za zahtevno dvostransko lepiranje in poliranje z visoko dimenzijsko natančnostjo, stabilno zmogljivostjo in ponovljivo kakovostjo površine. Namenjena polprevodniškim rezinam in napredni materialom, GNX stroji združujejo togo konstrukcijo, natančen nadzor vretena in optimizirano procesno stabilnost za enakomeren odvzem materiala in vrhunsko ravnost pri različnih velikostih kosov. Zasnova, pripravljena na avtomatizacijo, in zanesljivo delovanje jih naredita primerne tako za velikoserijsko kot precizno proizvodnjo.