SPP600S
Polirni stroj s širokim naborom programske opreme za razvoj in raziskave
Uporabniku prijazna CMP oprema, zasnovana z mislijo na enostavno uporabo in okoljsko odgovornost.
| SPP600S | SPP800S | SPP1000S | SPP1200S | |
|---|---|---|---|---|
| Najv. velikost obdelovanca / rezine | Ø200 mm | Ø300 mm | Ø300 mm | Ø450 mm |
| Najv. velikost rezine | 4″–12″ | 4″–12″ | N/A | N/A |
| Premer plošče | Ø600 mm | Ø800 mm | Ø1000 mm | Ø1200 mm |
| Št. sočasno obdelanih rezin | 2 | 2 | 2 | 2 |
| Hitrost vrtenja plošče | 10–80 min⁻¹ | 10–80 min⁻¹ | N/A | 10–80 min⁻¹ |
| Zunanje mere Š × G × V | 1380 × 1110 × 1873 mm | 1755 × 1200 × 2086 mm | N/A | N/A |
| Teža stroja | 2100 kg | 3000 kg | N/A | N/A |
Ključne lastnosti
- Ročni sistem CMP, idealen za razvojno-raziskovalne namene, podpira različne metode nadzora pritiska na sprednjo ali hrbtno stran, vsi parametri obdelave pa so vidni na enem zaslonu
- Osnovne časovne nastavitve zagotavljajo stabilno zbiranje podatkov; podatke je mogoče povezati z popolnoma avtomatskim polirnim strojem PNX332B in jih neposredno uporabiti
- Oblika rezine ostane nespremenjena tudi pri odvzemu 10 μm ali več; vsebuje namensko vreteno diamantirnika, združljivo z diamantnimi diamantirniki, ter mehanizem za recikliranje suspenzije (slurry)
Sorodni modeli
PNX332B
Avtomatski končni polirni stroj za 300 mm rezine z najvišjo natančnostjo robnega profila in enakomernostjo odvzema
Končni polirni stroj s posebej zasnovano polirno glavo in transportnim mehanizmom, ki omogoča stabilno obdelavo rezin z visoko natančnostjo in zmogljivostjo.
SVG401H
Prostorsko varčen in multifunkcionalen brusilni stroj
Visoko toga brusilka, idealna za obdelavo težko obdelovljivih materialov, kot so safir, SiC in spojinski polprevodniki.