SPP Series
Poseben veliki polirni stroj
Poseben veliki polirni stroj za površine, ki zahtevajo popolno ravnost in zrcalno kakovost — optične ravnine, precizna zrcala, optično steklo in referenčne površine preciznih merilnih instrumentov.
Za ta model tehnične specifikacije niso bile objavljene.
Ključne lastnosti
- SPP9600: ravnost 30 nm na kvadratni meter — sorazmerno primerljivo z 0,006 mm višinsko razliko na razponu 200 m Tokijske kupole; posebna granitna plošča zmanjša toplotna nihanja za dolgoročno natančnost, dopolnjena s korekcijskim kondicionerjem plošče in ultra precizno portalno enoto za obdelavo
- SPP3800: edini visoko precizni polirni stroj tipa Oscar na svetu, združljiv z fotomaskami 10. generacije LCD, za plošče do 2400 mm diagonale; vpenjalna glava se pri menjavi obdelovanca zavrti za 105°, kar omogoča enostavno nameščanje in odstranjevanje, konstrukcija pa je odporna na rjo in z nizko stopnjo prahu
- Pri SPP3800 granitna polirna plošča zmanjša toplotno deformacijo, suspenzija (slurry) pa se dovaja z obeh strani obdelovanca in iz sredine blazinice, kar zagotavlja stabilno oskrbo po celotni površini
Sorodni modeli
SPP600S
Polirni stroj s širokim naborom programske opreme za razvoj in raziskave
Uporabniku prijazna CMP oprema, zasnovana z mislijo na enostavno uporabo in okoljsko odgovornost.
SPL Series
Lepirni stroj — plošče za lepiranje (wrap table) v raznoliki ponudbi
Od prostorsko varčnih kompaktnih plošč za lepiranje do velikih plošč — ponudba lepirnih strojev za elektronske materiale, kovine, optične ravnine, keramiko, SiC in GaN. Ponudba serij: SPL15F · SPL24 · SPL32 · SPL36 · SPL120 (za velikosti zunaj standardne ponudbe je potreben ločen posvet).